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1.基板厚度: Thickness: 0.05mm~1.2mm
2. 基板尺寸及材質: Max 20”*20”; Min 19.5”*19.5”
3. CCD數量: 4只CCD同步檢測 (4*4 mm / pre-CCD view)
4. 雙光源可切換 (透過式照明及反射式照明)
5. 檢測靶點尺寸: Φ0.1mm~Φ4.0mm (含鑽孔型通孔靶點及pattern型靶點)
6. 檢測時間: 5 sec/pre-panel以下
7. 量測精度: +/-10μm ~ 15μm
